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一种具有复合结构的双向ESD防护器件
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商品编号
FP55069510166292579856
商品权属
代理
交易方式
普通许可
商品价格
¥ 50,000 元
佣金金额
面议

店铺信息

江苏中宜环科环保产业发展有限公司
电话 186xxxx6721
本发明公开了一种具有复合结构的双向ESD防护器件,属于集成电路的静电放电防护及抗浪涌领域。所述器件主要由一P型浅掺杂衬底、N型掺杂阱、第一P型中掺杂阱、第二P型中掺杂阱、第一P型重掺杂注入区、第一N型重掺杂注入区、第二P型重掺杂注入区、第二N型重掺杂注入区、第一多晶硅栅及其覆盖的第一薄栅氧化层、第三N型重掺杂注入区、第四N型重掺杂注入区、第二多晶硅栅及其覆盖的第二薄栅氧化层和第五N型重掺杂注入区构成。本发明通过版图设计和利用P型中掺杂阱,提高器件内部寄生NPN三极管的基区浓度,降低内部寄生NPN三极管放大倍数,削弱寄生SCR结构的正反馈程度,可提高器件的维持电压,增强ESD鲁棒性。
本发明公开了一种具有复合结构的双向ESD防护器件,属于集成电路的静电放电防护及抗浪涌领域。所述器件主要由一P型浅掺杂衬底、N型掺杂阱、第一P型中掺杂阱、第二P型中掺杂阱、第一P型重掺杂注入区、第一N型重掺杂注入区、第二P型重掺杂注入区、第二N型重掺杂注入区、第一多晶硅栅及其覆盖的第一薄栅氧化层、第三N型重掺杂注入区、第四N型重掺杂注入区、第二多晶硅栅及其覆盖的第二薄栅氧化层和第五N型重掺杂注入区构成。本发明通过版图设计和利用P型中掺杂阱,提高器件内部寄生NPN三极管的基区浓度,降低内部寄生NPN三极管放大倍数,削弱寄生SCR结构的正反馈程度,可提高器件的维持电压,增强ESD鲁棒性。
商品类型 专利 申请号 201911132332.4 IPC分类号
G01N21/78
专利类型 发明 法律状态 有权 技术领域
电子信息
交易方式 普通许可 专利状态 已授权 专利权人
江南大学
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